VPD: Gasphasenzersetzung, unsere vieleingesetzte Probenvorbereitung

Bei der Herstellung von Bauelementen zum Beispiel in der Halbleiterindustrie, kann eine oberflächliche Kontamination zu Prozessschwankungen und Defekten führen. Dabei reichen schon kleinste Fehler in der Fertigung aus, seien es Hohlräume, schlechte Abdeckung, Leerstände, Kurzschlüsse oder Ablagerungen. Mit zunehmender Integrationsdichte und abnehmender Leitungsbreite moderner integrierter Schaltungen (ICs) wird die Spurenmetallkontamination zu einem nachteiligen Faktor. Folglich wird eine stärkere Kontrolle der Kontamination während der Fertigungsprozesse in der Geräteherstellung aufgrund der wachsenden Komplexität und Miniaturisierung von ICs immer wichtiger.

Die Gasphasenzersetzung (VPD) ist eine bewährte Methode der Waferpräparation zur anschließenden Messung von Spurenmetallverunreinigungen. SemiSol hat sich besonders auf die Oberflächenanalyse von Wafern spezialisiert und nutzt die Gasphasenzersetzung regelmäßig als Probenpräparationsmethode für ICP-MS, TXRF etc..
 

Das Grundprinzip der VPD als Form der Probenaufbereitung

VPD (Vapor Phase Decomposition, auf Deutsch Gasphasenzersetzung) ist eine Präparationsmethode, bei der die gesamte Oxidschicht des Wafers zerlegt und zu einem einzigen Tröpfchen konzentriert wird. Dieses Tröpfchen kann dann mittels ICP-MS, TXRF, ICP-OES etc. gemessen werden und sorgt für erhöhte Empfindlichkeit der Probe und niedrigere Nachweisgrenzen, da sie ein großes Volumen der gescannten Waferfläche in einer einzigen Messung konzentriert.

Vorteile der Probenpräparationsmethode VPD

Das bietet unsere VPD-Probenvorbereitung für Vorteile für Ihre Analyse:

Erhöhte Empfindlichkeit der Probe: Die Kombination aus VPD und TXRF erlaubt eine Erhöhung der Empfindlichkeit gegenüber Übergangmetallverunreinigungen wie Zink, Kupfer, Nickel.
Für die Analyse von Elementen mit größeren Ordnungszahlen wie Natrium oder Aluminium sorgt die Kombination aus VPD mit ICP-MS für noch geringere Nachweisgrenzen

Niedrigere Nachweisgrenzen sind durch die VPD-Analytik möglich, da eine sehr hohe Informationsdichte in nur einem Extraktionstropfen steckt. Fehlerquellen können somit drastisch minimiert werden.

SemiSol – Glasphasenzersetzung vom Experten

Wir bei SemiSol gehen auf Sie als Kunde ein und bieten individuelle, anwendungsbezogene Lösungen für Ihre Messung und Analyse. Im Bereich der Oberflächenanalyse bieten wir zusätzlich zu VPD, TXRF und ICP-MS viele weitere Verfahren, die Ihre Messung unterstützen.

Es muss schnell gehen mit der Messung? Wir tun unser Möglichstes und arbeiten auch am Wochenende, um Ihr Analyseergebnis rechtzeitig zu liefern. Es verändert sich etwas spontan? Kein Problem, unsere zentrale Unternehmensstruktur ermöglicht spontane Anpassungen eines Auftrags. Wir behandeln alle Proben und Analyseergebnisse streng vertraulich und folgen geregelten Prozessabläufen gemäß ISO 9001.

Faire Preise dank Expertise. Wir befinden uns im unteren Preissegement, da wir uns komplett auf Analysen spezialisiert haben. Sie sind sich nicht sicher welche Analysemethode zu Ihnen passt? Schicken Sie uns einfach eine Anfrage: