Die EDX-Analyse dient der Ermittlung der spezifischen Elementzusammensetzung durch die emittierte Röntgenstrahlung einer Probe. Das Verfahren erlaubt eine großflächige Analyse von Oberflächen sowie von kompakten Proben. Die Messergebnisse lassen Rückschlüsse auf vorhandene chemische Elemente sowie deren Konzentration zu. Allerdings bietet die WDX-Methode dabei eine höhere Auflösung als die EDX-Analyse.
Die WDX (Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie) wird zur Analyse der charakteristischen Röntgenstrahlung chemischer Elemente in einer Probe genutzt. Pro Element wird eine Messung durchgeführt, sodass die Analyse sehr spezifisch für das Detektieren bestimmter Elemente durchgeführt werden kann. Die relative Nachweisgrenze ist niedriger als bspw. bei der EDX-Analyse – sie beträgt 0,01 Volumenprozent.
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